UV LED 晶圓解膠機UVM-300/200 可應用於12/8吋以下晶圓之脫膠製程。強制風冷,配有PLC/觸控人機控制,輸出時間和強度可自行調整。
1. 晶圓解膠專用: 附帶必要安全裝置與多配方選用與紀錄功能
2. 照射面/Curing Area: > 300mmx300mm / 200mmx200mm
3. 出口照射強度 UV Intensity: >600 mW/cm2
4. 燈源壽命長/Long Life Span: > 20,000 hours
5. 冷卻方式/Cooling: 強制風冷式 Forced Air Cooling
6. 波長/UV Spectrum: 365nm (385nm、395nm、405nm)
7. 可選用線上UV照度即時監控裝置與離線式UV Meter
主功能說明:
特點:
l 隨點隨亮,無需預熱時間
l 無需待機消耗功率,立即省電
l 輸出照度可調 (10%~100%)
l 照度平均,面照射均勻度> 90%
l 純UV光,無紅外線,被照物表面溫度低
l 燈源正常工作可達20000小時以上 (汞燈約1500小時)
l 省電,、不產生臭氧、無高壓電安全性高
l 與傳統汞燈耗材比較無燈管耗材成本
l 脫膠晶片跨距最佳化設計,節省能源提高產能。
外觀: