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UV 解膠機
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晶圓用UV LED解膠光源3
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商品介紹

晶圓用UV LED解膠光源

布萊特配合各大設備商,提供各種尺吋的晶圓用UVLED解膠光源。模組化設計,安裝容易,人機智慧介面及安全監控一應俱全,尺吋、強度、波長任選。

解膠設備一般分為桌上型、半自動與全自動機型,主流波長為 365nm。布萊特提供除了提供桌上型和半自動型解膠機外,也配

合設備商,提供各種尺吋的晶圓用
UVLED解膠光源。

晶圓用UV LED解膠光源主要利用紫外線照射晶圓切割膠膜,使膠帶黏著力在曝光後瞬間大幅下降,以便安全剝離晶圓或晶片。


主要功能特色
:


  1.隨插即用設計:採用模組化簡易安裝,能快速融入各種自動化設備。

  2.最大照射範圍  400mmx400mm (可依客戶需求指定)

3. 出口照射強度 > 200mW/cm2 @30mm(可依客戶需求指定)

4. 燈源壽命長> 15,000 hours        

5. 
冷卻方式:強迫氣冷

6.   
波長選擇: 365nm385nm395nm405nm (可以單波長或多波長切換)

7. 純紫外光輸出,降低熱衝擊

8.
 人機智慧介面:配備觸控螢幕,即時看見溫度、電壓與強度。

9. 
全方位安全監控:內建感測器,強度不夠或過熱自動警報。

10.
智慧遠端連動:支援外部 PLC(可程式化控制器)乾接點控制,輕鬆實現自動化點燈。



目前最常見的UVLED解膠用光源尺吋包括: 330*330,340*340,360*360,400*400mm,適用尺寸一般支援 6吋、8吋至 12

吋鐵框晶圓共用。光源一般正方形為主,圓形也沒問題,例如直徑330mm

    

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