布萊特配合各大設備商,提供各種尺吋的晶圓用UVLED解膠光源。模組化設計,安裝容易,人機智慧介面及安全監控一應俱全,尺吋、強度、波長任選。
解膠設備一般分為桌上型、半自動與全自動機型,主流波長為 365nm。布萊特提供除了提供桌上型和半自動型解膠機外,也配
合設備商,提供各種尺吋的晶圓用UVLED解膠光源。
晶圓用UV LED解膠光源主要利用紫外線照射晶圓切割膠膜,使膠帶黏著力在曝光後瞬間大幅下降,以便安全剝離晶圓或晶片。
主要功能特色:
1.隨插即用設計:採用模組化簡易安裝,能快速融入各種自動化設備。
2.最大照射範圍 400mmx400mm (可依客戶需求指定)
3. 出口照射強度 > 200mW/cm2 @30mm(可依客戶需求指定)
4. 燈源壽命長> 15,000 hours
5. 冷卻方式:強迫氣冷
6. 波長選擇: 365nm、385nm、395nm、405nm (可以單波長或多波長切換)
7. 純紫外光輸出,降低熱衝擊
8. 人機智慧介面:配備觸控螢幕,即時看見溫度、電壓與強度。
9. 全方位安全監控:內建感測器,強度不夠或過熱自動警報。
10.智慧遠端連動:支援外部 PLC(可程式化控制器)乾接點控制,輕鬆實現自動化點燈。
目前最常見的UVLED解膠用光源尺吋包括: 330*330,340*340,360*360,400*400mm,適用尺寸一般支援 6吋、8吋至 12
吋鐵框晶圓共用。光源一般正方形為主,圓形也沒問題,例如直徑330mm。
