ＢＫ－ＵＶＭ解膠機 (桌上型)
晶圓解膠專用 UVLED 解膠機（桌上型）適用最新世代方形載板，400*400MM
適用工作規格
適用外框尺寸: ６吋，８吋，１２吋，或無外框晶圓
* 其他特殊尺寸或治具可配合客戶需求製作提供
產品技術規格 :
1. 採用日本NICHIA UVLED 組成UVLED面光源; UVLED燈基板材質: 銅質基板
2. 波長: 365nm
3. UV 出光面尺寸: 400mm x 400mm
4. 預估平均使用時數: 約15,000小時以上
5. 照射時間依照預設配方選擇設定強度與積光量自動補償
6. 出光面均勻度: >90%
7. 出光照射強度: > 100mW/cm2，在50% 輸出設定下
(* 量測參考UV Meter: ORC UVLED-01 @365nm ，距離出口光約50mm)
8. 操作介面: 小型PLC與觸控人機
9.選配: 強度感測器，可顯示總累積能量或預說解膠能量
10.重量: 約30~35kg
外觀尺寸：
主體
三色燈(選配)
