主要特色:
1. 簡易安裝、直覺操作使用
2. 整合式結構，附帶抽屜與鎖定機構
3. 主波長: UVLED_365nm
4. UVLED 出光面: 400mmx400mm
5. 內建UV強度感測，可監控照射強度
6. 燈源壽命長
7. 強制風冷冷卻方式
8. 被照物低熱衝擊
適用工作規格適用外框尺寸: ６吋，８吋，１２吋，或無外框晶圓 * 其他特殊尺寸或治具可配合客戶需求製作提供 產品技術規格 :
1. 採用日本NICHIA UVLED 組成UVLED面光源; UVLED燈基板材質: 銅質基板
2. 波長: 365nm
3. UV 出光面尺寸: 400mm x 400mm
4. 預估平均使用時數: 約15,000小時以上
5. 照射時間依照預設配方選擇設定強度與積光量自動補償
6. 出光面均勻度: >90%
7. 出光照射強度: > 100mW/cm2，在50% 輸出設定下(* 量測參考UV Meter: ORC UVLED-01 @365nm ，距離出口光約50mm)
8. 操作介面: 小型PLC與觸控人機
9.選配: 強度感測器，可顯示總累積能量或預設解膠能量
10.重量: 約30~35kg
外觀尺寸：主體 632*551*428 mm（ 光源可使用尺吋400*400 mm)
＊另有直立式解膠機。請參考。
