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UV強度感測器-BK-UVx-LA6
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UV強度感測器-BK-UVx-LA6
BK-UVx-LA6__172__2022.pdf
專門針對半導體及液晶製程設備清洗重組改質用的準分子燈強度變化監測,適用UV波長220nm以下,校正峰值為172nm。
使用UV時,您是否為了不知燈管強度何時會減弱或是壽命終止於而傷腦筋嗎?如果此問題困擾您,加裝UV強度感測器,可以協助解決您的問題。
主要用途
•
偵測半導體及液晶製程設備的阻劑殘渣剝離
•
塑膠基板/玻璃的洗淨
•
金屬表面的清洗
•
重組與改質等所採用的準分子燈(波長172nm)
產品規格
•
適用波長:220nm以下,校正峰值為172nm
•
外觀:36(L)x30(W)x19mm(H)
•
工作溫度:最高可達85℃
•
感應強度:0~10mW/cm²或是0~100mW/cm²(可依需要自行調整)
適用波長
LA6 偵測波長為220nm以下,校正峰值為172nm
強度範圍調整示意
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