布莱特配合各大设备商,提供各种尺寸的晶圆用UVLED解胶光源。模组化设计,安装容易,人机智慧介面及安全监控一应俱全,尺寸、强度、波长任选。
解胶设备一般分为桌上型、半自动与全自动机型,主流波长为 365nm。布莱特提供除了提供桌上型和半自动型解胶机外,也配
合设备商,提供各种尺寸的晶圆用UVLED解胶光源。
晶圆用UV LED解胶光源主要利用紫外线照射晶圆切割胶膜,使胶带黏著力在曝光后瞬间大幅下降,以便安全剥离晶圆或晶片。
主要功能特色:
1.随插即用设计:采用模组化简易安装,能快速融入各种自动化设备。
2.最大照射范围 400mmx400mm (可依客户需求指定)
3. 出口照射强度 > 200mW/cm2 @30mm(可依客户需求指定)
4. 灯源寿命长> 15,000 hours
5. 冷却方式:强迫气冷
6. 波长选择: 365nm、385nm、395nm、405nm (可以单波长或多波长切换)
7. 纯紫外光输出,降低热冲击
8. 人机智慧介面:配备触控萤幕,即时看见温度、电压与强度。
9. 全方位安全监控:内建感测器,强度不够或过热自动警报。
10.智慧远端连动:支援外部 PLC(可程式化控制器)干接点控制,轻松实现自动化点灯。
目前最常见的UVLED解胶用光源尺寸包括: 330*330,340*340,360*360,400*400mm,适用尺寸一般支援 6寸、8寸至 12
寸铁框晶圆共用。光源一般正方形为主,圆形也没问题,例如直径330mm。
