BK-UVM解胶机 (桌上型)
晶圆解胶专用 UVLED 解胶机(桌上型)适用最新世代方形载板,400*400MM
适用工作规格
适用外框尺寸: 6寸,8寸,12寸,或无外框晶圆
* 其他特殊尺寸或治具可配合客户需求制作提供
产品技术规格 :
1. 采用日本NICHIA UVLED 组成UVLED面光源; UVLED灯基板材质: 铜质基板
2. 波长: 365nm
3. UV 出光面尺寸: 400mm x 400mm
4. 预估平均使用时数: 约15,000小时以上
5. 照射时间依照预设配方选择设定强度与积光量自动补偿
6. 出光面均匀度: >90%
7. 出光照射强度: > 100mW/cm2,在50% 输出设定下
(* 量测参考UV Meter: ORC UVLED-01 @365nm ,距离出口光约50mm)
8. 操作介面: 小型PLC与触控人机
9.选配: 强度感测器,可显示总累积能量或预说解胶能量
10.重量: 约30~35kg
外观尺寸:
主体
三色灯(选配)