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商品介紹
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BK-UVM-300/200

UV LED 晶圓解膠機UVM-300/200 可應用於12/8吋以下晶圓之脫膠製程。強制風冷,配有PLC/觸控人機控制,輸出時間和強度可自行調整。可選用線上照度即時監控裝置及離線式uv meter;可依生產不同尺吋晶圓需要自行更換治具。





 

1. 晶圓解膠專用: 附帶必要安全裝置與多配方選用與紀錄功能

2. 照射面/Curing Area: > 300mmx300mm / 200mmx200mm

3. 出口照射強度 UV Intensity: >600 mW/cm2

4. 燈源壽命長/Long Life Span: > 20,000 hours

5. 冷卻方式/Cooling: 強制風冷式 Forced Air Cooling

6. 波長/UV Spectrum: 365nm (385nm、395nm、405nm)

7. 可選用線上UV照度即時監控裝置與離線式UV Meter

 

主功能說明:

  1. UVM-300/200UVLED晶圓解膠機,可應用於12/8吋以下晶圓之脫膠製程。
  2. UVLED解膠設備裝置配有PLC/觸控人機控制,具各種配方設定功能:時間、輸出強度、工作紀錄、溫度過溫保護等功能。
  1. 主要光源由UVLED燈板與強制風冷散熱結構組成,壽命高,照度均勻,不產生臭氧,待機燈源不需開啟,耗電量少。
  2. 依照生產不同尺寸晶圓需要,可自行更換治具。


特點: 

  1. 主波長: 365nm (385nm395nm405nm)
  2. 光源強度: 可達到約300mW/cm2 (100%輸出狀態下);照射均勻度: > 95%
  3. 適用晶圓尺寸: 12”/8”與其他小尺寸產品
  4. 電源: 單相110V/15A; 220V/10 A
  5. UVLED 採用日本 NICHIA原廠UVLED
  6. UVLED 光源與傳統光源比較優點:

l   隨點隨亮,無需預熱時間

l   無需待機消耗功率,立即省電

l   輸出照度可調 (10%~100%)

l   照度平均,面照射均勻度> 90%

l   UV光,無紅外線,被照物表面溫度低

l   燈源正常工作可達20000小時以上 (汞燈約1500小時)

l   省電,、不產生臭氧、無高壓電安全性高

l   與傳統汞燈耗材比較無燈管耗材成本

l   脫膠晶片跨距最佳化設計,節省能源提高產能。

外觀:

  1. 尺寸: 720(W)x540(D)x1100(H)mm
  2. 重量: 75 kg

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解膠機( 落地型)   

我們接受客製,各式特殊尺吋要求,抽屜式上掀式皆可。 歡迎洽詢。
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   解膠機(桌上型)
UV解膠機 1388935