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UV解膠機3
  • BK-UVM-300/200

    UV LED 晶圓解膠機UVM-300/200 可應用於12/8吋以下晶圓之脫膠製程。強制風冷,配有PLC/觸控人機控制,輸出時間和強度可自行調整。可選用線上照度即時監控裝置及離線式uv meter;可依生產不同尺吋晶圓需要自行更換治具。