1. 晶圆解胶专用: 附带必要安全装置与多配方选用与纪录功能

2. 照射面/Curing Area: > 300mmx300mm / 200mmx200mm

3. 出口照射强度 UV Intensity: >600 mW/cm²

4. 灯源寿命长/Long Life Span: > 20,000 hours

5. 冷却方式/Cooling: 强制风冷式 Forced Air Cooling

6. 波长/UV Spectrum: 365nm (385nm、395nm、405nm)

7. 可选用线上UV照度即时监控装置与离线式UV Meter

主功能说明：

1. UVM-300/200为UVLED晶圆解胶机，可应用於12/8寸以下晶圆之脱胶制程。
2. 此UVLED解胶设备装置配有PLC/触控人机控制，具各种配方设定功能:时间、输出强度、工作纪录、温度过温保护等功能。

1. 主要光源由UVLED灯板与强制风冷散热结构组成，寿命高，照度均匀，不产生臭氧，待机灯源不需开启，耗电量少。
2. 依照生产不同尺寸晶圆需要，可自行更换治具。

特点： 

1. 主波长: 365nm (或 385nm、395nm、405nm)
2. 光源强度: 可达到约300mW/cm2 (100%输出状态下);照射均匀度: > 95%
3. 适用晶圆尺寸: 12”/8”与其他小尺寸产品
4. 电源: 单相110V/15A; 220V/10 A
5. UVLED 采用日本 NICHIA原厂UVLED
6. UVLED 光源与传统光源比较优点:

l   随点随亮，无需预热时间

l   无需待机消耗功率,立即省电

l   输出照度可调 (10%~100%)

l   照度平均，面照射均匀度> 90%

l   纯UV光，无红外线，被照物表面温度低

l   灯源正常工作可达20000小时以上 (汞灯约1500小时)

l   省电,、不产生臭氧、无高压电安全性高

l   与传统汞灯耗材比较无灯管耗材成本

l   脱胶晶片跨距最佳化设计，节省能源提高产能。

外观：

1. 尺寸: 约 720(W)x540(D)x1100(H)mm
2. 重量: 约 75 kg