BK-UVM-300/200
UV LED 晶圆解胶机UVM-300/200 可应用於12/8寸以下晶圆之脱胶制程。强制风冷,配有PLC/触控人机控制,输出时间和强度可自行调整。可选用线上照度即时监控装置及离线式uv meter;可依生产不同尺寸晶圆需要自行更换治具。
1. 晶圆解胶专用: 附带必要安全装置与多配方选用与纪录功能
2. 照射面/Curing Area: > 300mmx300mm / 200mmx200mm
3. 出口照射强度 UV Intensity: >600 mW/cm2
4. 灯源寿命长/Long Life Span: > 20,000 hours
5. 冷却方式/Cooling: 强制风冷式 Forced Air Cooling
6. 波长/UV Spectrum: 365nm (385nm、395nm、405nm)
7. 可选用线上UV照度即时监控装置与离线式UV Meter
主功能说明:
- UVM-300/200为UVLED晶圆解胶机,可应用於12/8寸以下晶圆之脱胶制程。
- 此UVLED解胶设备装置配有PLC/触控人机控制,具各种配方设定功能:时间、输出强度、工作纪录、温度过温保护等功能。
- 主要光源由UVLED灯板与强制风冷散热结构组成,寿命高,照度均匀,不产生臭氧,待机灯源不需开启,耗电量少。
- 依照生产不同尺寸晶圆需要,可自行更换治具。
特点:
- 主波长: 365nm (或 385nm、395nm、405nm)
- 光源强度: 可达到约300mW/cm2 (100%输出状态下);照射均匀度: > 95%
- 适用晶圆尺寸: 12”/8”与其他小尺寸产品
- 电源: 单相110V/15A; 220V/10 A
- UVLED 采用日本 NICHIA原厂UVLED
- UVLED 光源与传统光源比较优点:
l 随点随亮,无需预热时间
l 无需待机消耗功率,立即省电
l 输出照度可调 (10%~100%)
l 照度平均,面照射均匀度> 90%
l 纯UV光,无红外线,被照物表面温度低
l 灯源正常工作可达20000小时以上 (汞灯约1500小时)
l 省电,、不产生臭氧、无高压电安全性高
l 与传统汞灯耗材比较无灯管耗材成本
l 脱胶晶片跨距最佳化设计,节省能源提高产能。
外观:
- 尺寸: 约 720(W)x540(D)x1100(H)mm
- 重量: 约 75 kg


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